晶圓夾持裝置及晶圓轉移系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111477595.6 申請日 -
公開（公告）號 CN114188268A 公開（公告）日 2022-03-15
申請公布號 CN114188268A 申請公布日 2022-03-15
分類號 H01L21/687（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 吳濤;孫增強 申請（專利權）人 北京七星華創(chuàng)集成電路裝備有限公司
代理機構 北京天昊聯(lián)合知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 彭瑞欣;王婷
地址 101312北京市順義區(qū)天竺綜合保稅區(qū)竺園三街6號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種晶圓夾持裝置及晶圓轉移系統(tǒng)，其中晶圓夾持裝置包括一對第一夾持件、一對第二夾持件及開合驅(qū)動機構，開合驅(qū)動機構選擇性驅(qū)動一對第一夾持件及一對第二夾持件中的至少一者合攏或張開，各第一夾持件的第一夾持部具有交替設置的第一夾槽和第一避讓槽，各第二夾持件的第二夾持部具有交替設置的第二夾槽和第二避讓槽，第一夾槽和第二夾槽用于夾持晶圓，兩個第一夾持部與兩個第二夾持部分別對應設置，在相對應的第一夾持部和第二夾持部中，各第一避讓槽對應于一個第二夾槽以用于避讓該第二夾槽夾持的晶圓，各第二避讓槽對應于一個第一夾槽以用于避讓該第一夾槽夾持的晶圓。上述裝置實現(xiàn)一次夾持兩組晶圓，以縮短工作節(jié)拍，提高工作效率。