傳輸機構

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111143262.X 申請日 -
公開（公告）號 CN113859969A 公開（公告）日 2021-12-31
申請公布號 CN113859969A 申請公布日 2021-12-31
分類號 B65G47/91（2006.01）I 分類 輸送；包裝；貯存；搬運薄的或細絲狀材料;
發(fā)明人 潘忠懷;張文平 申請（專利權）人 北京七星華創(chuàng)集成電路裝備有限公司
代理機構 北京天昊聯(lián)合知識產權代理有限公司 代理人 彭瑞欣;王婷
地址 101312北京市順義區(qū)天竺綜合保稅區(qū)竺園三街6號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請實施例提供了一種傳輸機構。該傳輸機構包括：機械臂、支撐結構、第一吸附組件和第二吸附組件；機械臂固定設置，支撐結構與機械臂連接，機械臂用于帶動支撐結構移動或旋轉；第一吸附組件和第二吸附組件均設置于支撐結構的同一面上，第一吸附組件和第二吸附組件均用于在支撐結構由機械臂的帶動下伸入基板存儲箱內抓取基板，第二吸附組件能夠相對支撐結構伸縮運動，用于帶動抓取的基板的至少一側邊發(fā)生形變，以使抓取的基板與基板存儲箱內的基板分離；第一吸附組件和第二吸附組件還用于在機械臂的帶動下將基板傳送至預設位置后釋放基板。本申請實施例能夠避免由于基板相互吸附導致抓取失敗，從而大幅提高基板抓取的成功率以及提高傳輸良率。