一種儲片盒傳輸裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011311690.4 申請日 -
公開（公告）號 CN112382597A 公開（公告）日 2021-02-19
申請公布號 CN112382597A 申請公布日 2021-02-19
分類號 H01L21/677(2006.01)I; 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 潘忠懷 申請（專利權）人 北京七星華創(chuàng)集成電路裝備有限公司
代理機構 北京天昊聯(lián)合知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 彭瑞欣;王婷
地址 101312北京市順義區(qū)天竺綜合保稅區(qū)竺園三街6號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種儲片盒傳輸裝置，包括承載板、承載板傳輸組件和至少兩個儲片盒固定組件，承載板包括用于承載儲片盒的承載面，承載面設置有導向柱，用于實現(xiàn)對承載于承載面的儲片盒進行定位；承載板傳輸組件與承載板固定連接，用于驅動承載板沿傳輸方向移動；至少兩個儲片盒固定組件沿傳輸方向分布在承載板的兩側，且均與承載板固定連接，每個儲片盒固定組件用于在傳輸儲片盒時，將儲片盒固定在承載板的承載面上。在本發(fā)明中，儲片盒固定組件能夠將儲片盒固定在承載板的承載面上，從而在承載板帶動儲片盒沿傳輸方向移動時防止儲片盒在傳輸過程中發(fā)生晃動，保證晶片的位置精度，提高產(chǎn)品良率。??