薄膜太陽(yáng)能電池大規(guī)模生產(chǎn)的制造裝置與方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN200910126433.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN101521249B 公開(kāi)（公告）日 2012-05-23
申請(qǐng)公布號(hào) CN101521249B 申請(qǐng)公布日 2012-05-23
分類號(hào) H01L31/18(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C23C14/14(2006.01)I;B22F3/00(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 D·R·霍拉斯 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 金江水力發(fā)電集團(tuán)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 中國(guó)專利代理（香港）有限公司 代理人 米亞索爾公司;米亞索樂(lè)裝備集成（福建）有限公司
地址 美國(guó)加利福尼亞州
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種完全通過(guò)濺射包括高效率背接觸/反射多層的制造改進(jìn)的薄膜太陽(yáng)能電池的方法，該背接觸/反射多層包含由過(guò)渡金屬氮化物組成的至少一個(gè)阻擋層。使用雙圓柱體旋轉(zhuǎn)磁控管技術(shù)，從特別準(zhǔn)備的電傳導(dǎo)靶共濺射二硒化銅銦鎵(Cu(InxGal-X)Se2)吸收體層(X的范圍從1至約0.1)。通過(guò)改變鎵的含量，可以分級(jí)吸收體層的帶隙。在硒化氫氣體中，從金屬合金靶反應(yīng)濺射交替的吸收體層。RF濺射用于沉積不包含鎘的ZnS窗口層。反應(yīng)濺射頂部透明電極ZnO摻雜鋁。描述了專用模塊真空卷裝濺射機(jī)器。該機(jī)器適于與雙圓柱體旋轉(zhuǎn)磁控管一體化，在單一途徑中以制造改進(jìn)的太陽(yáng)能電池材料。