一種基于透射電鏡的樣品表面結構成像方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810352660.4 申請日 -
公開（公告）號 CN108593690A 公開（公告）日 2018-09-28
申請公布號 CN108593690A 申請公布日 2018-09-28
分類號 G01N23/22;G01N23/2202 分類 測量；測試;
發(fā)明人 王巖國 申請（專利權）人 中兆培基（北京）電氣有限公司
代理機構 南京經緯專利商標代理有限公司 代理人 南京騰元軟磁有限公司;江蘇中科啟航新材料工業(yè)研究院有限公司;江蘇非晶電氣有限公司;中兆培基南京新材料技術研究院有限公司;中兆培基（北京）電氣有限公司
地址 211316 江蘇省南京市高淳經濟開發(fā)區(qū)紫荊大道以西,秀山路以南
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及材料表面結構表征技術領域，公開了一種基于透射電鏡的樣品表面結構成像方法，包括：制備透射電鏡樣品；獲得樣品的低放大倍數圖像；獲得樣品表面結構的高放大倍數圖像。該方法通過調節(jié)透射電鏡物鏡焦距來調控物鏡取景深度和取景位置，利用物鏡取景位置和有限的取景深度來強化樣品表面結構信息的同時弱化樣品內部結構信息，進而簡單、快速并準確的獲得真實反應樣品表面結構的透射電鏡圖像，從而有效評價材料或器件的性能。本發(fā)明具有實施成本低、效率高、可操控性和重復性強、技術可靠性高等特點，適合于在固體表面研究領域的廣泛應用。