防撞突上機構

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121779529.X 申請日 -
公開(公告)號 CN215451350U 公開(公告)日 2022-01-07
申請公布號 CN215451350U 申請公布日 2022-01-07
分類號 H01L21/67(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉明坤;梁吉來;姜博;王云峰 申請(專利權)人 大連佳峰自動化股份有限公司
代理機構 大連優(yōu)路智權專利代理事務所(普通合伙) 代理人 宋春昕
地址 116000遼寧省大連市經濟技術開發(fā)區(qū)福泉北路27號-5號1-4層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 防撞突上機構,磁吸底座上表面和頂針帽磁吸座的下表面對應安裝磁吸座磁鐵,磁吸底座和頂針帽磁吸座之間通過磁吸座磁鐵吸合連接;磁吸底座和頂針帽磁吸座中心設有通孔,貫穿磁吸底座和頂針帽磁吸座中心的通孔設有下推桿和上推桿,下推桿的上端和上推桿的下端分別設有推桿磁鐵,下推桿和上推桿之間通過推桿磁鐵吸合連接;上推桿上端安裝頂針座,頂針座上安裝頂針;下推桿下端連接電機。本實用新型的防撞突上機構,安裝座與頂針帽基座之間通過磁吸安裝,可快速便捷地更換頂針和頂針帽,減少了安裝之后的調整工序,大幅度提高了工作效率。在調試或工作過程中,當頂針帽與wafer平臺發(fā)生碰撞時,頂針帽基座會與磁吸底座脫離,降低設備損壞風險。