半導(dǎo)體晶圓傳送機(jī)器臂內(nèi)器件疲勞的監(jiān)測(cè)方法及其組件
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202210310870.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN114689316A | 公開（公告）日 | 2022-07-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114689316A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-07-01 |
| 分類號(hào) | G01M13/023（2019.01）I;H01L21/67（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 王彭;林堅(jiān) | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 泓滸（蘇州）半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京同輝知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 215000江蘇省蘇州市相城區(qū)元和萬里路88號(hào)4號(hào)樓1樓104室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體晶圓傳送機(jī)器臂內(nèi)器件壽命的監(jiān)控方法及其組件，包括帶有內(nèi)齒的傳動(dòng)帶，所述傳動(dòng)帶的外側(cè)設(shè)置有自動(dòng)張緊輪，其與傳動(dòng)帶相碰觸設(shè)置，所述自動(dòng)張緊輪的同軸上設(shè)置有距離傳感器，所述距離傳感器與終端設(shè)備相電聯(lián)；所述傳動(dòng)帶的內(nèi)圈中設(shè)置有移動(dòng)滑軌，所述移動(dòng)滑軌上通過滑塊設(shè)置有觸碰桿，所述觸碰桿與自動(dòng)張緊輪在同一軸線設(shè)置，所述觸碰桿與感應(yīng)器相連，所述感應(yīng)器與終端設(shè)備相連，在自動(dòng)張緊輪位移后，觸碰桿移動(dòng)的距離與自動(dòng)張緊輪移動(dòng)的距離相等。本發(fā)明能提高工作效率。 |
