一種單晶爐用環(huán)形分水匯裝置及單晶爐

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023151508.1 申請日 -
公開（公告）號 CN214142607U 公開（公告）日 2021-09-07
申請公布號 CN214142607U 申請公布日 2021-09-07
分類號 C30B15/00（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 吳春生;姜宏偉;郭志強 申請（專利權(quán)）人 南京晶能半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 張弛
地址 210046江蘇省南京市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)興智路6號興智科技園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種單晶爐用環(huán)形分水匯裝置，包括單晶爐蓋、位于單晶爐蓋上的若干視窗、與單晶爐蓋內(nèi)部連通的進(jìn)水口及出水口；所述每個視窗上同樣設(shè)有進(jìn)水口及出水口；還包括一個圓弧形的進(jìn)水匯及一個圓弧形的出水匯，將冷卻液的進(jìn)水管均匯總到進(jìn)水匯，由進(jìn)水匯的出水口統(tǒng)一給需要進(jìn)冷卻液的回路進(jìn)水，同樣的出水端匯總到出水匯，從而使冷卻液在爐蓋上的布線具有調(diào)理且主要集中于進(jìn)水匯、出水匯中，進(jìn)水匯、出水匯可以單獨取下修整，便于冷卻液回路的檢修維護(hù)。