一種半導(dǎo)體級(jí)硅單晶爐坩堝起吊裝置及硅單晶爐
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011470690.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN112575370A | 公開（公告）日 | 2021-03-30 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112575370A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-03-30 |
| 分類號(hào) | C30B15/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分類 | 晶體生長〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 姜宏偉;郭志強(qiáng);鄭鍇 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 南京晶能半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 張弛 |
| 地址 | 210046江蘇省南京市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)興智路6號(hào)興智科技園 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體級(jí)硅單晶爐坩堝起吊裝置及硅單晶爐。該起吊裝置通過向下延伸的第三連桿圍繞于坩堝托盤四周，且通過掛鉤承載坩堝托盤并提拉出。第三連桿的打開與閉合操作均通過位于支架上的第一、第二連桿及十字轉(zhuǎn)盤帶動(dòng)，第一、第二連桿及十字轉(zhuǎn)盤不占用爐內(nèi)空間，且能夠較準(zhǔn)確的控制第三連桿開合的角度，避免觸碰爐壁。該坩堝起吊裝置對(duì)爐內(nèi)空間的占用很少，專用于硅單晶爐內(nèi)坩堝與爐壁間隙較小的環(huán)境中。?? |
