一種半導(dǎo)體器件及其制備方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202210287351.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN114664935A | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-06-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114664935A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-06-24 |
| 分類號(hào) | H01L29/417（2006.01）I;H01L27/085（2006.01）I;H01L21/8232（2006.01）I;H01L21/82（2006.01）I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 田宇;許建華 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 深圳市時(shí)代速信科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 518000廣東省深圳市福田區(qū)福保街道福保社區(qū)廣蘭道6號(hào)順倉(cāng)物流中心三層（深裝總大廈A座3樓318-320） | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N半導(dǎo)體器件及其制備方法，涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，包括：襯底以及位于襯底上的功能層，在功能層頂面設(shè)置有源極結(jié)構(gòu)、漏極結(jié)構(gòu)和魚骨柵結(jié)構(gòu)，源極結(jié)構(gòu)和漏極結(jié)構(gòu)用于配合魚骨柵結(jié)構(gòu)形成多個(gè)晶體管器件；在襯底底面開(kāi)設(shè)有從襯底底面貫穿至功能層頂面的源孔；源極結(jié)構(gòu)包括第一子電極和覆蓋源孔位于功能層頂面開(kāi)孔的第二子電極，第一子電極通過(guò)連接橋與第二子電極電性連接。如此，通過(guò)取消第一子電極上的源孔，使得第一子電極的寬度可以進(jìn)行減小，從而減少整個(gè)源極結(jié)構(gòu)的占用面積，使得整個(gè)器件能夠有效降低面積和制造成本，而第一子電極的引出可以由連接橋連接至第二子電極，由第二子電極覆蓋的源孔對(duì)應(yīng)引出至襯底底面。 |
