一種快速聚合酶鏈式反應用硅基芯片的制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111130236.3 申請日 -
公開（公告）號 CN113866145A 公開（公告）日 2021-12-31
申請公布號 CN113866145A 申請公布日 2021-12-31
分類號 G01N21/64（2006.01）I;C12M1/00（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 熊勝虎;袁曉;柳翠;謝毅;肖自力;朱建偉 申請（專利權(quán)）人 聯(lián)合基因生物科技（上海）有限公司
代理機構(gòu) 上海申新律師事務所 代理人 黨蕾
地址 200092上海市楊浦區(qū)鞍山五村14號104室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及核酸檢測芯片技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種快速聚合酶鏈式反應用硅基芯片的制造方法，于單晶硅晶圓片上沉積氮氧化硅膜；開窗及形成溝道得到預處理的晶圓片，進行濕法刻蝕，濕法刻蝕后的晶圓片具有濕法刻蝕溝道；對濕法刻蝕后的晶圓片進行清洗，采用玻璃蓋片對清洗后的晶圓片進行密封鍵合；對鍵合后的晶圓片進行切割獲得核酸檢測芯片。本發(fā)明使得聚合酶鏈式擴增反應的時間大為縮減，且沉積的氮氧化硅膜能夠抵抗后續(xù)工藝中堿性溶液的腐蝕，并且不需要額外的清洗工藝去除，可以保證玻璃蓋片與芯片基材具有足夠強度，不會出現(xiàn)剝離現(xiàn)象，還具有減少反射光對熒光測試的干擾問題，提高測試的準確性。