一種測量溶液濃度的超聲波傳感裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121210078.8 申請日 -
公開（公告）號 CN214895026U 公開（公告）日 2021-11-26
申請公布號 CN214895026U 申請公布日 2021-11-26
分類號 G01N29/024（2006.01）I;G01N29/22（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 馬庫斯·郎 申請（專利權(quán)）人 鑫巨（深圳）半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市精英專利事務(wù)所 代理人 武志峰
地址 518000廣東省深圳市前海深港合作區(qū)前灣一路1號A棟201室（入駐深圳市前海商務(wù)秘書有限公司）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種測量溶液濃度的超聲波傳感裝置，設(shè)置于蝕刻機(jī)的循環(huán)系統(tǒng)中，用于測量蝕刻機(jī)中的蝕刻劑溶液的濃度，蝕刻機(jī)的循環(huán)系統(tǒng)包括用于盛放蝕刻劑溶液的容納池，容納池的外側(cè)下端設(shè)有循環(huán)泵，容納池的外側(cè)上端設(shè)有回流噴淋管，超聲波傳感裝置包括殼體和穿入殼體內(nèi)部的傳感器組件，殼體的一端密封連通循環(huán)泵，殼體的另一端密封連通回流噴淋管，傳感器組件包括位于殼體內(nèi)部的超聲波檢測端，容納池內(nèi)的蝕刻劑溶液循環(huán)流經(jīng)超聲波檢測端。本實(shí)用新型通過循環(huán)流動蝕刻劑溶液，在循環(huán)流動的過程中插入傳感器組件，通過傳感器組件的超聲波檢測端對蝕刻劑溶液的濃度進(jìn)行檢測，具有通過濃度測量精度高的優(yōu)點(diǎn)。