一種基板清洗裝置及其清洗方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911185077.X 申請日 -
公開（公告）號 CN110860509B 公開（公告）日 2021-05-04
申請公布號 CN110860509B 申請公布日 2021-05-04
分類號 B08B3/02;B08B1/02;B08B1/00;B08B13/00;H05K3/26 分類 清潔;
發(fā)明人 王共海;劉善政;王立華;李國春;于永輝;蔡小輝 申請（專利權(quán)）人 湖南凱通電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 422900 湖南省衡陽市邵陽市新邵縣釀溪鎮(zhèn)七秀路新邵資江科技園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種基板清洗裝置及其清洗方法，包括臺體、傳送機(jī)構(gòu)和清理機(jī)構(gòu)，所述清理機(jī)構(gòu)設(shè)置在臺體上方的居中部，且傳送機(jī)構(gòu)對稱分布安裝在清理機(jī)構(gòu)的兩側(cè)，所述清理機(jī)構(gòu)至少包括平齊對稱分布在外框內(nèi)部第一固定板與第二固定板，以及輸送臺，所述外框?yàn)橥该靼宀?，且兩?cè)均為開口設(shè)置，供輸送臺伸出，所述第二固定板上安裝有多組吹風(fēng)頭，所述吹風(fēng)頭通過管道與風(fēng)源連接，多組所述吹風(fēng)頭的出風(fēng)口均朝向輸送臺的上方，所述第二固定板朝向輸送臺的面上還垂直分布安裝有出水管，所述出水管的底部安裝噴頭，所述出水管通過管道與水源連接。該基板清洗裝置及其清洗方法，結(jié)構(gòu)合理，功能性強(qiáng)，工作效率高，可廣泛推廣。