一種石英音叉諧振器及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111356787.1 申請日 -
公開（公告）號 CN114189228A 公開（公告）日 2022-03-15
申請公布號 CN114189228A 申請公布日 2022-03-15
分類號 H03H9/215（2006.01）I;H03H3/02（2006.01）I 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 李京波;韓理想;謝亮;康俊;高偉 申請（專利權(quán)）人 蘇州億波達光電子科技有限公司
代理機構(gòu) 蘇州市中南偉業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 唐靈
地址 215000江蘇省蘇州市吳中區(qū)經(jīng)濟開發(fā)區(qū)越溪街道吳中大道1421號太湖軟件產(chǎn)業(yè)園智慧谷園區(qū)6號樓17層1701室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種石英音叉諧振器及其制備方法，其中石英音叉諧振器包括基部和設(shè)置在基部上的振動臂；所述振動臂上設(shè)有一組上凹槽和一組下凹槽，所述上凹槽和下凹槽分別設(shè)置在振動臂上相對的兩個側(cè)面上，所述上凹槽和下凹槽在振動臂的長度方向上和寬度方向上均交替設(shè)置。本發(fā)明的諧振器結(jié)構(gòu)能夠降低石英音叉諧振器晶體阻抗CI值，從而提高石英音叉諧振器性能的穩(wěn)定性，該石英音叉諧振器的制備方法，采用干法刻蝕工藝，同時，先形成上凹槽和下凹槽，再進行刻蝕形成兩個振動臂結(jié)構(gòu)，之后形成相互隔離的電極，該方法精度高，工藝流程少，成本低，有效保證產(chǎn)品的質(zhì)量，可廣泛應(yīng)用于石英音叉諧振器生產(chǎn)和加工的技術(shù)領(lǐng)域。