一種集成電路芯片檢測裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610865243.0 申請日 -
公開（公告）號 CN106226674A 公開（公告）日 2016-12-14
申請公布號 CN106226674A 申請公布日 2016-12-14
分類號 G01R31/26(2014.01)I;G01R1/02(2006.01)I;G01R1/04(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 李風浪;李舒歆 申請（專利權）人 北京溢美四方軟件技術有限公司
代理機構 北京眾合誠成知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 連平
地址 523000 廣東省東莞市松山湖高新技術產(chǎn)業(yè)工發(fā)區(qū)生產(chǎn)力大廈406
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種集成電路芯片檢測裝置，包括旋轉傳送單元和芯片檢測單元，旋轉傳送單元和芯片檢測單元均固定安裝在底板上，旋轉傳送單元對集成電路進行旋轉式輸送，芯片檢測單元對輸送過來的集成電路進行芯片檢測；旋轉傳送單元包括傳送皮帶組、緩沖支撐組、動力傳動組和傳動皮帶組支架，傳送皮帶組用于豎直夾持集成電路進行旋轉作業(yè)，傳送皮帶組位于旋轉傳送單元的上部。本發(fā)明利用旋轉傳送單元進行芯片傳送，芯片檢測單元設置在其側面，對傳送而來的芯片進行檢測，其檢測精度高，避免了人工檢測的低效，自動化程度高。