一種晶圓測試夾具

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121515537.3 申請日 -
公開（公告）號 CN215415527U 公開（公告）日 2022-01-04
申請公布號 CN215415527U 申請公布日 2022-01-04
分類號 G01R1/04（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 丁兆達;高強;歷德義 申請（專利權）人 上海季豐電子股份有限公司
代理機構 上海申新律師事務所 代理人 吳軼淳
地址 201100上海市閔行區(qū)友東路258-288號2幢101室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供一種晶圓測試夾具，涉及晶圓測試技術領域，包括：一箱體，箱體內橫向設有至少一托盤，各托盤表面設有至少一晶圓放置層，箱體的垂直于托盤且相對設置的至少一組側面之間設有通風通道。有益效果是本夾具采用質地偏軟的鐵氟龍材料，可以有效保護晶圓，且利用通風通道可以讓風均勻吹過晶圓表面，使晶圓表面溫度均勻、受力均勻。