一種方硅芯鑄錠爐真空系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022354995.5 申請日 -
公開（公告）號 CN214361838U 公開（公告）日 2021-10-08
申請公布號 CN214361838U 申請公布日 2021-10-08
分類號 C30B29/06（2006.01）I;C30B28/06（2006.01）I;F04B37/14（2006.01）I;F04B49/06（2006.01）I;F04B49/20（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 徐永亮;周春霞;白斌;徐養(yǎng)毅 申請（專利權(quán)）人 蘇州昀豐半導(dǎo)體裝備有限公司
代理機構(gòu) 蘇州潤桐嘉業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 徐鳴
地址 215600江蘇省蘇州市張家港經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)（楊舍鎮(zhèn)）晨豐公路1436號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種方硅芯鑄錠爐真空系統(tǒng)，主要以解決現(xiàn)有鑄錠爐中爐腔壓力的控制不穩(wěn)定的問題。包括：上腔體，所述上腔體具有爐體左出氣口與爐體右出氣口，所述爐體左出氣口位于所述上腔體的左側(cè)；所述爐體右出氣口位于所述上腔體的右側(cè)；爐體抽氣管，所述爐體抽氣管連接所述爐體左出氣口與所述爐體右出氣口；真空管道主抽閥，所述真空管道主抽閥與所述爐體抽氣管相連接；干泵機組，所述干泵機組與所述真空管道主抽閥相連接。本實用新型獲得了壓力控制穩(wěn)定的優(yōu)點。