一種多向MEMS掃描裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910540290.1 申請日 -
公開（公告）號 CN110275288B 公開（公告）日 2021-06-22
申請公布號 CN110275288B 申請公布日 2021-06-22
分類號 G02B26/08 分類 光學(xué);
發(fā)明人 蘭樹明 申請（專利權(quán)）人 無錫迅杰光遠科技有限公司
代理機構(gòu) 無錫華源專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 聶啟新
地址 214135 江蘇省無錫市菱湖大道200號中國傳感網(wǎng)國際創(chuàng)新園G1-1006
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種多向MEMS掃描裝置，涉及激光掃描技術(shù)領(lǐng)域，該多向MEMS掃描裝置采用兩個以上的二維掃描微鏡級聯(lián)，可以實現(xiàn)對待測樣品的多方向同時掃描，可以大大提高掃描效率；且每個微鏡可以獨立控制使得掃描單元實現(xiàn)任意圖形的掃描，在實際應(yīng)用時可以針對不同的待測樣品匹配不同的掃描圖形，實現(xiàn)動態(tài)變化測量，掃描自由度和靈活度高。該多向MEMS掃描裝置結(jié)構(gòu)簡單，采用MEMS工藝設(shè)計大大減小了裝置的體積和成本。