一種高品質(zhì)晶體培植類關(guān)鍵工藝環(huán)境振動(dòng)控制技術(shù)分析方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110185395.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113031669A 公開（公告）日 2021-06-25
申請(qǐng)公布號(hào) CN113031669A 申請(qǐng)公布日 2021-06-25
分類號(hào) G05D19/02 分類 控制；調(diào)節(jié);
發(fā)明人 胡明祎;黃偉;杜林林;郭金濤;許巖 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 國機(jī)集團(tuán)科學(xué)技術(shù)研究院有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京華旭智信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 吳鵬章
地址 100032 北京市西城區(qū)太平街甲2號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種高品質(zhì)晶體培植類關(guān)鍵工藝環(huán)境振動(dòng)控制技術(shù)分析方法，包括：針對(duì)高品質(zhì)晶體培植關(guān)鍵生產(chǎn)工藝開展內(nèi)部及外部環(huán)境振動(dòng)測試并對(duì)測試數(shù)據(jù)進(jìn)行歸類整理，為精細(xì)化數(shù)值仿真分析提供數(shù)據(jù)支撐，為主動(dòng)控制系統(tǒng)及工藝技術(shù)分析標(biāo)準(zhǔn)提供關(guān)鍵控制變量；進(jìn)行前饋伺服主動(dòng)控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)，形成伺服前饋響應(yīng)智能振動(dòng)控制裝置的解決方案；基于工藝環(huán)境振動(dòng)控制技術(shù)分析標(biāo)準(zhǔn)判別減隔振系統(tǒng)是否達(dá)到工藝設(shè)計(jì)、生產(chǎn)要求，并優(yōu)化伺服前饋響應(yīng)智能振動(dòng)控制裝置的解決方案的性能。形成一套高品質(zhì)培植類關(guān)鍵工藝環(huán)境振動(dòng)控制技術(shù)分析標(biāo)準(zhǔn)，獲得關(guān)鍵工藝內(nèi)外部振源影響的分析技術(shù)和晶體生長基本規(guī)律及振動(dòng)影響機(jī)理，并設(shè)計(jì)了智能化主動(dòng)型伺服系統(tǒng)。