一種防止顯微鏡鏡頭刮傷晶圓的裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121707202.1 申請日 -
公開（公告）號 CN215953956U 公開（公告）日 2022-03-04
申請公布號 CN215953956U 申請公布日 2022-03-04
分類號 G02B21/26（2006.01）I;G03F7/20（2006.01）I 分類 光學;
發(fā)明人 杜俊坤;呂浩 申請（專利權(quán)）人 合肥新匯成微電子股份有限公司
代理機構(gòu) 合肥輝達知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 汪守勇
地址 230000安徽省合肥市新站區(qū)合肥綜合保稅區(qū)內(nèi)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供一種防止顯微鏡鏡頭刮傷晶圓的裝置。所述防止顯微鏡鏡頭刮傷晶圓的裝置，包括：主體架、連接螺栓、固定螺絲、第一螺母以及第二螺母；其中，所述連接螺栓設(shè)置于所述主體架上，所述固定螺絲設(shè)置于所述主體架的兩側(cè)。本實用新型提供一種防止顯微鏡鏡頭刮傷晶圓的裝置，通過主體架、連接螺栓、固定螺絲配合設(shè)置，主要用于對載物臺的高度進行精準定位，實現(xiàn)了對載物臺位置的準確控制，利用第一螺母與第二螺母與連接螺栓之間的位置距離，作為載物臺的移動范圍，針對經(jīng)驗不足的操作人員來說，提供了直觀的參照，在調(diào)節(jié)載物臺時不會因為位置把握不準確，而導致晶圓與鏡頭接觸磨損，在使用顯微鏡聚焦時更加方便、更加輕松。