旋轉式磁控圓柱靶

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201120382401.X 申請日 -
公開（公告）號 CN202347087U 公開（公告）日 2012-07-25
申請公布號 CN202347087U 申請公布日 2012-07-25
分類號 C23C14/35(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 鄭錫輝;溫達明;靳新軍;陳春紅 申請（專利權）人 蘇州豐裕機械工程有限公司
代理機構 廣州三環(huán)專利代理有限公司 代理人 蘇州豐裕機械工程有限公司;東莞豐裕電機有限公司
地址 215131 江蘇省蘇州市相城經(jīng)濟開發(fā)區(qū)蘇州豐裕機械工程有限公司
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開一種旋轉式磁控圓柱靶，包括靶頭及靶體，所述靶頭包括安裝座、空心軸、導水管、進水嘴、出水嘴及驅(qū)動機構，所述空心軸呈階梯狀結構且樞接于所述安裝座上，所述導水管套接于所述空心軸內(nèi)，所述導水管的上端與所述進水嘴連通，所述空心軸的上端與所述出水嘴連通，所述驅(qū)動機構安裝于所述安裝座上且驅(qū)動所述空心軸轉動，所述靶體包括空心的靶材、靶材底座、空心的磁靴及永磁體，所述靶材上端與所述空心軸外徑較大的一端螺接，下端與所述靶材底座螺接，所述永磁體內(nèi)置于所述磁靴的內(nèi)部，所述磁靴內(nèi)置于所述靶材的內(nèi)部且與所述導水管的下端可拆卸地固定。本實用新型能防止磁鐵生銹、靶材侵蝕均勻、靶材更換方便。