一種光致失粘膠帶

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921967824.0 申請日 -
公開(公告)號 CN212174860U 公開(公告)日 2020-12-18
申請公布號 CN212174860U 申請公布日 2020-12-18
分類號 C09J7/24;C09J7/38 分類 染料;涂料;拋光劑;天然樹脂;黏合劑;其他類目不包含的組合物;其他類目不包含的材料的應用;
發(fā)明人 劉泓銘;陳維林 申請(專利權)人 北京清鴻光科科技有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 100000 北京市海淀區(qū)海淀西大街36號二層北側201室198號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種光致失粘膠帶,包括基層,所述基層的一側涂覆有膠層,所述膠層遠離基層的一側涂覆有離型膜層。本實用新型中使用光致失粘膠帶進行半導體制備時,如晶圓切割時,其較高的粘結強度可以在加工過程有效保護工件,防止晶片飛散、崩裂,在脫膠階段,僅依靠紫外光照即可在數(shù)秒至數(shù)十秒的時間范圍使膠帶失去粘性,無需進入高溫工段進行脫膠,有效降低了生產(chǎn)過程的能耗,加快生產(chǎn)周期。