一種石英晶體微天平傳感器及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111662528.1 申請日 -
公開（公告）號 CN114459943A 公開（公告）日 2022-05-10
申請公布號 CN114459943A 申請公布日 2022-05-10
分類號 G01N5/00（2006.01）I;G01G3/16（2006.01）I;B82Y30/00（2011.01）I;B82Y15/00（2011.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 司士輝;余坦雷 申請（專利權(quán)）人 杭州諾蒙微晶生物科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州創(chuàng)智卓英知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 311100浙江省杭州市余杭區(qū)五常街道文一西路1199號1幢1單元1902-1907室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種石英晶體微天平傳感器及其制備方法，所述制備方法包括如下步驟：S1、將晶振的電極浸入至MnO溶液中并取出，重復(fù)3?4次，干燥并退火，制得涂覆有MnO種子的電極；S2、配置Mn（NO3）2、六亞甲基四銨、環(huán)七糖的混合溶液，將涂覆有MnO種子的電極浸入混合溶液中，制得涂覆有MnO納米復(fù)合膜的電極；S3、將二氧化鈦粉體溶解于去離子水中，超聲分散處理，離心去除不溶性的顆粒物，制得含二氧化鈦的懸浮液；S4、將制得的涂覆有MnO納米復(fù)合膜的電極浸入含二氧化鈦的懸浮液中，室溫干燥，制得修飾有MnO/TiO2納米復(fù)合膜的電極。本發(fā)明技術(shù)方案獲得具有高響應(yīng)性、高靈敏度和高穩(wěn)定性的傳感器；能在晶振電極表面修飾自清潔涂層，可實現(xiàn)自清潔。