一種制備石英晶體微天平傳感器的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111668898.6 申請日 -
公開（公告）號 CN114441362A 公開（公告）日 2022-05-06
申請公布號 CN114441362A 申請公布日 2022-05-06
分類號 G01N5/00（2006.01）I;G01D5/243（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 司士輝;余坦雷 申請（專利權）人 杭州諾蒙微晶生物科技有限公司
代理機構 杭州創(chuàng)智卓英知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 唐超文
地址 311100浙江省杭州市余杭區(qū)五常街道文一西路1199號1幢1單元1902-1907室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種制備石英晶體微天平傳感器的方法，所述石英晶體微天平傳感器是在石英晶體微天平晶振的電極表面涂覆復合的金屬鍍膜層和鍍鈦膜層，所述金屬鍍膜層為ZnO納米膜，厚度為20?40nm；所述鍍鈦膜層為TiO2納米膜，厚度為20?40nm。本發(fā)明提供的制備方法制備得到的石英晶體微天平傳感器電極涂層厚度小且厚度均勻，從而使得電極表面任一位置的質(zhì)量變化靈敏精確，石英晶體微天平傳感器接收的電信號頻率變化更加精確，增加了石英晶體微天平傳感器的測量精度，具有較高的適應性。