一種基片卡夾裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110778405.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113697711A 公開(kāi)（公告）日 2021-11-26
申請(qǐng)公布號(hào) CN113697711A 申請(qǐng)公布日 2021-11-26
分類(lèi)號(hào) B66F7/02（2006.01）I;B66F7/28（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I 分類(lèi) 卷?yè)P(yáng)；提升；牽引;
發(fā)明人 吳龍 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 天津中科晶禾電子科技有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 天津市尚儀知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 鄧琳
地址 300450天津市濱海新區(qū)塘沽海洋科技園信安創(chuàng)業(yè)廣場(chǎng)5號(hào)樓2001
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種基片卡夾裝置，包括卸載傳輸帶和用于安裝基片卡夾裝置的矩形支架，卸載傳輸帶位于矩形支架的底部，矩形支架的正側(cè)和背側(cè)均設(shè)置有工字架，矩形支架的兩側(cè)分別設(shè)置有第一卸載機(jī)構(gòu)和第二卸載機(jī)構(gòu)。本發(fā)明通過(guò)設(shè)置第一卸載機(jī)構(gòu)和第二卸載機(jī)構(gòu)，第一同步帶外齒和第二同步帶外齒相對(duì)運(yùn)動(dòng)使其張角變小，達(dá)到對(duì)基片裝載到卡夾內(nèi)的目的，第一同步帶外齒與第二同步帶外齒向下移動(dòng)，當(dāng)分別與第一同步帶底輪和第二同步帶底輪嚙合時(shí)，張角逐漸變大，使基片下降至卸載傳輸帶，完成卸載，利用第一同步帶外齒和第二同步帶外齒的張角變化，可以很好的解決變形基片裝卸載問(wèn)題，且卸載端無(wú)需機(jī)械手，保證了產(chǎn)品質(zhì)量。