一種晶圓鍵合加壓裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121559652.0 申請日 -
公開（公告）號 CN216488005U 公開（公告）日 2022-05-10
申請公布號 CN216488005U 申請公布日 2022-05-10
分類號 H01L21/687（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I;H01L21/603（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 高智偉;馬強;曹寧飛 申請（專利權(quán)）人 天津中科晶禾電子科技有限責任公司
代理機構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 -
地址 300450天津市濱海新區(qū)塘沽海洋科技園信安創(chuàng)業(yè)廣場5號樓2001
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種晶圓鍵合加壓裝置，包括柜體，柜體的頂部固定安裝有支撐臺，支撐臺上設置有設置有加壓在組件以及位于加壓組件下方的固定組件，加壓組件由支撐架、氣缸、支撐座、連接座、支撐桿、滑塊、連接桿、第一彈簧和加壓頭組成。本實用新型通過向上拉動拉桿能夠使橫板帶動頂桿上升，通過頂桿能夠?qū)⒅梦锱_內(nèi)的晶圓鍵合頂出，從而便于將加壓后的晶圓鍵合取出，提高了該加壓裝置的實用性，在氣缸推動支撐座下降的過程中，通過第一彈簧的作用力能夠?qū)訅侯^與晶圓鍵合接觸時的作用力進行緩沖，能夠減少接觸力過大導致晶圓鍵合發(fā)生損壞的情況，從而能夠進一步提高該加壓裝置的實用性。