太陽(yáng)能電池背面鈍化方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201510104406.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN104701390B | 公開(kāi)（公告）日 | 2017-01-25 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN104701390B | 申請(qǐng)公布日 | 2017-01-25 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L31/0216(2014.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 張勤杰;傅建奇;李建國(guó);張燕 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 北京飛行博達(dá)電子有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海天辰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 陶金龍;張磊 |
| 地址 | 101204 北京市平谷區(qū)馬坊工業(yè)西區(qū)316號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種太陽(yáng)能電池背面鈍化方法，對(duì)太陽(yáng)能電池的背面采用Al2O3/SiO2/高硅含量SiNx/低硅含量SiNx的四層疊層鈍化膜進(jìn)行鈍化，通過(guò)增加SiO2層的沉積，可以有效消除高硅含量SiNx固定正電荷的影響，降低Al2O3的最小厚度，高硅含量的SiNx可以繼續(xù)保證對(duì)硅表面的氫鈍化效果，而利用低硅含量的SiNx可以防止鋁燒結(jié)過(guò)程中對(duì)內(nèi)層膜的侵蝕，可實(shí)現(xiàn)鈍化膜總厚度的明顯降低，進(jìn)一步提高產(chǎn)能，節(jié)約工藝總成本，并符合規(guī)?；a(chǎn)的要求。 |
