一種太陽能電池的雙面鈍化方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410775995.9 申請日 -
公開（公告）號 CN104465879B 公開（公告）日 2017-11-10
申請公布號 CN104465879B 申請公布日 2017-11-10
分類號 H01L31/18(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 傅建奇;幺文捷;杜飛龍;李補(bǔ)忠;張勤杰 申請（專利權(quán)）人 北京飛行博達(dá)電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海天辰知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 北京飛行博達(dá)電子有限公司;北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
地址 101204 北京市平谷區(qū)馬坊工業(yè)西區(qū)316號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種太陽能電池的雙面鈍化方法，改進(jìn)了現(xiàn)有的雙面鈍化方法，在低壓化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔室中進(jìn)行，反應(yīng)腔室中具有夾持器件，包括：將多個半導(dǎo)體器件襯底以一定的間隔排列于反應(yīng)腔室的夾持器件上；半導(dǎo)體器件襯底的兩面均暴露出來；采用低壓氣相沉積工藝向半導(dǎo)體器件襯底的兩面同時沉積鈍化膜；其中，所采用的反應(yīng)氣體同時進(jìn)入半導(dǎo)體器件襯底的兩面且同時在半導(dǎo)體器件襯底的兩面以熱激活方式沉積鈍化膜從而在反應(yīng)腔中實現(xiàn)兩面同時沉積鈍化膜的過程，克服了現(xiàn)有的雙面鈍化工藝只能在一面沉積的弊端；其可以應(yīng)用于規(guī)?；a(chǎn)，可以減小硅片與晶舟之間的摩擦，增加電池工藝穩(wěn)定性，并且簡化了工藝步驟，提升了生產(chǎn)效率和降低了成本。