一種集成芯片管體及管腳檢測系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210051859.X 申請日 -
公開（公告）號 CN114082663A 公開（公告）日 2022-02-25
申請公布號 CN114082663A 申請公布日 2022-02-25
分類號 B07C5/00（2006.01）I;B07C5/34（2006.01）I;B07C5/36（2006.01）I;B07C5/38（2006.01）I;B07C5/02（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 將固體從固體中分離；分選;
發(fā)明人 胡冬;李蛇宏;蔣林 申請（專利權(quán)）人 四川明泰微電子科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 成都誠中致達(dá)專利代理有限公司 代理人 曹宇杰
地址 629099四川省遂寧市經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)德泉路微電子工業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種集成芯片管體及管腳檢測系統(tǒng)，包括送料機(jī)構(gòu)、旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、分段軌道、檢測機(jī)構(gòu)，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括旋轉(zhuǎn)驅(qū)動組件、旋轉(zhuǎn)環(huán)架以及設(shè)于旋轉(zhuǎn)環(huán)架上的多個分段軌道，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動組件連接旋轉(zhuǎn)環(huán)架，用于驅(qū)動旋轉(zhuǎn)環(huán)架旋轉(zhuǎn)，分段軌道用于承載待測集成芯片；送料機(jī)構(gòu)位于旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)一側(cè)，用于承接震動盤通過輸送軌道輸送的待測集成芯片，并用于在旋轉(zhuǎn)環(huán)架旋轉(zhuǎn)至分段軌道與送料機(jī)構(gòu)另一端承接時，向承接的分段軌道輸送待測集成芯片；檢測機(jī)構(gòu)位于旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)正面，包括環(huán)形架以及設(shè)于環(huán)形架上的一對垂直CCD圖像采集組件、一對水平CCD圖像采集組件。本方案采用旋轉(zhuǎn)方式將分段軌道依次用于上料，垂直投影檢測，水平投影檢測，出料，各環(huán)節(jié)有效銜接，效率高。