一種4寸LED藍寶石襯底的雙面減薄加工裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022947188.4 申請日 -
公開（公告）號 CN214685935U 公開（公告）日 2021-11-12
申請公布號 CN214685935U 申請公布日 2021-11-12
分類號 B24B37/08（2012.01）I;B24B37/34（2012.01）I;B24B57/02（2006.01）I;B24B49/04（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 蘇開賢;李國紅;李金 申請（專利權）人 云南藍晶科技有限公司
代理機構 成都市鼎宏恒業(yè)知識產權代理事務所（特殊普通合伙） 代理人 陳康
地址 653100云南省玉溪市紅塔區(qū)北城鎮(zhèn)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及晶片加工技術領域，具體涉及4寸LED藍寶石襯底的雙面減薄加工裝置，機體上部設置有下研磨盤；下研磨盤連接轉軸A；轉軸A連接電機A；下研磨盤上方設置有上研磨盤；上研磨盤連接轉軸B；轉軸B為伸縮結構設置；轉軸B連接電機B；上研磨盤上設置有磨削液槽；磨削液槽底部連接進液管；進液管連接至上研磨盤內；磨削液槽上方設置有供液管；供液管為伸縮結構設置；供液管分別連接水泵和蠕動泵；水泵連接儲液罐A；儲液罐A頂部設置有進液口A；蠕動泵連接儲液罐B；儲液罐B存儲有碳化硼、懸浮劑；儲液罐B頂部設置有進液口，解決藍寶石襯底磨削加工效率低、成本高的問題。