LED藍(lán)寶石襯底拋光裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022944870.8 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN214135472U 公開(公告)日 2021-09-07
申請(qǐng)公布號(hào) CN214135472U 申請(qǐng)公布日 2021-09-07
分類號(hào) B24B29/02(2006.01)I;B24B27/00(2006.01)I;B24B47/22(2006.01)I;B24B55/06(2006.01)I;B24B55/12(2006.01)I;B24B55/02(2006.01)I;B24B53/007(2006.01)I;B24B41/00(2006.01)I;B01D46/00(2006.01)I 分類 磨削;拋光;
發(fā)明人 吳康;李國紅;馬躍東;鄧源 申請(qǐng)(專利權(quán))人 云南藍(lán)晶科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 成都市鼎宏恒業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 代理人 陳康
地址 653100云南省玉溪市紅塔區(qū)北城鎮(zhèn)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及晶片加工技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及LED藍(lán)寶石襯底拋光裝置,機(jī)體側(cè)面設(shè)置有進(jìn)料口;進(jìn)料口內(nèi)設(shè)置有托盤;托盤表面設(shè)置有拋光夾;托盤設(shè)置在滑軌上;托盤底部設(shè)置有伸縮支撐柱;托盤上方設(shè)置有拋光盤;拋光盤設(shè)置通過拋光盤轉(zhuǎn)軸連接拋光盤安裝盤;拋光盤安裝盤內(nèi)設(shè)置有電機(jī);電機(jī)連接拋光盤轉(zhuǎn)軸另一端;拋光盤轉(zhuǎn)軸上部設(shè)置有軸套;軸套連接氣動(dòng)滑塊;電機(jī)底部設(shè)置有電機(jī)轉(zhuǎn)軸,解決晶片拋光效率較低的問題。