控制單晶硅尾部長度的方法及單晶爐收尾方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011553132.9 申請日 -
公開（公告）號 CN112725883B 公開（公告）日 2022-03-22
申請公布號 CN112725883B 申請公布日 2022-03-22
分類號 C30B15/22（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 梁萬亮;丁亞國;馬國忠;顧燕濱;河野貴之 申請（專利權(quán)）人 寧夏盾源聚芯半導(dǎo)體科技股份有限公司
代理機構(gòu) 寧夏三源鑫知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 孫彥虎
地址 750021 寧夏回族自治區(qū)銀川市西夏區(qū)光明西路23號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種控制單晶硅尾部長度的方法及單晶硅收尾方法，屬于單晶硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域。讀取實時收尾長度L1以及該收尾長度對應(yīng)的實際收尾重量W1，并通過實時收尾長度L1計算理論收尾重量W0，比較實際收尾重量W1與理論收尾重量W0的偏差，如果偏差過大，則對應(yīng)的調(diào)整實時收尾長度L1時刻的拉晶拉速或收尾溫度，以降低實際收尾重量W1與理論收尾重量W0的偏差，達到控制單晶硅硅棒尾部長度的目的，避免單晶硅硅棒尾部過長，導(dǎo)致收尾用料較多，且收尾時間長，或者單晶硅硅棒尾部過短，造成位錯，使晶體失去完整單晶結(jié)構(gòu)。同時，控制單晶硅硅棒尾部長度，也能夠為成批次生產(chǎn)特殊要求的單晶硅硅棒提供可靠的收尾控制參數(shù)。