封裝器件水汽入侵路徑檢測(cè)方法及裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210164278.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN114216954A 公開(kāi)（公告）日 2022-03-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN114216954A 申請(qǐng)公布日 2022-03-22
分類號(hào) G01N27/62（2021.01）I;G01N15/08（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 廖金枝;朱雷;張兮;喬明勝;華佑南;李曉旻 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 勝科納米（蘇州）股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 劉臣剛
地址 215124江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號(hào)蘇州納米城西北區(qū)09棟507室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種封裝器件水汽入侵路徑檢測(cè)方法及裝置，該方法包括：基于預(yù)設(shè)示蹤劑對(duì)待測(cè)封裝器件進(jìn)行水汽示蹤標(biāo)記，獲取示蹤標(biāo)記樣品；對(duì)所述示蹤標(biāo)記樣品進(jìn)行二次離子質(zhì)譜分析，獲取示蹤標(biāo)記樣品的示蹤劑強(qiáng)度；根據(jù)所述示蹤劑強(qiáng)度確定水汽入侵的路徑和速度。本發(fā)明通過(guò)預(yù)設(shè)示蹤劑與二次離子質(zhì)譜結(jié)合，對(duì)封裝器件的水汽入侵路徑及速度進(jìn)行檢測(cè)，有利于提高水汽入侵的動(dòng)態(tài)檢測(cè)精度，從根本上提升封裝器件的防潮可靠性。