藍(lán)寶石拋光用硅鋁復(fù)合拋光粉及其制備方法、拋光液

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201911356706.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN111004582A 公開(kāi)(公告)日 2020-04-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN111004582A 申請(qǐng)公布日 2020-04-14
分類號(hào) C09G1/02(2006.01)I 分類 染料;涂料;拋光劑;天然樹(shù)脂;黏合劑;其他類目不包含的組合物;其他類目不包含的材料的應(yīng)用;
發(fā)明人 劉冉;朱堂龍;陳紅飛;王宇湖 申請(qǐng)(專利權(quán))人 蘇州納迪微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州創(chuàng)元專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 范晴;顧天樂(lè)
地址 215000江蘇省蘇州市高新區(qū)嵩山路488號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種藍(lán)寶石拋光用硅鋁復(fù)合拋光粉及其制備方法、拋光液,屬于藍(lán)寶石拋光技術(shù)領(lǐng)域。該藍(lán)寶石拋光用硅鋁復(fù)合拋光粉的制備方法,包括以下步驟:S1,按重量比例取0.05~0.25mol/L的硫酸鋁銨溶液、0.5~5mol/L的碳酸氫銨溶液和分散劑混合均勻,并加入pH調(diào)節(jié)劑控制pH值在8~12之間,反應(yīng)溫度在20~80℃之間,攪拌20~120min,得到氧化鋁前驅(qū)體;S2,之后加入正硅酸乙酯,并加入pH調(diào)節(jié)劑控制pH值在8~12之間,反應(yīng)溫度在20~80℃之間,攪拌20~120min,之后分離,再烘干粉碎,得到硅鋁復(fù)合物前驅(qū)體粉體;S3,向硅鋁復(fù)合物前驅(qū)體粉體中加入煅燒促進(jìn)劑,然后經(jīng)過(guò)1100~1400℃高溫煅燒1~4h,再經(jīng)后處理制備得到硅鋁復(fù)合拋光粉。本發(fā)明在保證拋光良率的基礎(chǔ)上能夠提高藍(lán)寶石襯底片的拋光速率。??