碳化硅晶圓片拋光用拋光粉及其制備方法、拋光液

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201911356679.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN111073520A 公開(kāi)（公告）日 2020-04-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN111073520A 申請(qǐng)公布日 2020-04-28
分類(lèi)號(hào) C09G1/02 分類(lèi) 染料；涂料；拋光劑；天然樹(shù)脂；黏合劑；其他類(lèi)目不包含的組合物；其他類(lèi)目不包含的材料的應(yīng)用;
發(fā)明人 劉冉;朱堂龍;陳紅飛;王宇湖 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 蘇州納迪微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州創(chuàng)元專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 范晴;顧天樂(lè)
地址 215000 江蘇省蘇州市相城區(qū)陽(yáng)澄湖鎮(zhèn)鳳陽(yáng)路432號(hào)8號(hào)樓東側(cè)一、二層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種碳化硅晶圓片拋光用拋光粉及其制備方法、拋光液，屬于材料拋光技術(shù)領(lǐng)域。該碳化硅晶圓片拋光用拋光粉制備方法，包括以下步驟：S1，分別配置A液體，微米α?氧化鋁分散液，和B液體，含偏鋁酸鈉的氫氧化鉀水溶液；S2，在一定反應(yīng)溫度下，向A液體中加入B液體和鹽酸，添加完B液體和鹽酸后繼續(xù)攪拌一段時(shí)間，得到氫氧化鋁包覆微米α?氧化鋁的漿料，之后陳化處理；S3，邊攪拌邊向經(jīng)陳化處理的漿料加入納米α?氧化鋁粉體，添加完納米α?氧化鋁粉體后繼續(xù)攪拌一段時(shí)間，得到納米α?氧化鋁包覆氫氧化鋁包覆微米α?氧化鋁的漿料；S4，分離上述漿料并烘干，然后在高溫煅燒，再經(jīng)后處理得到拋光粉。本發(fā)明能夠提高碳化硅晶圓片拋光效率和表面良率。