一種pvd鍍膜厚度調(diào)節(jié)控制裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122093024.4 申請日 -
公開（公告）號 CN215799870U 公開（公告）日 2022-02-11
申請公布號 CN215799870U 申請公布日 2022-02-11
分類號 C23C14/54（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 郭維偉 申請（專利權(quán)）人 南京準(zhǔn)非晶真空技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京喆翙知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 馬婷
地址 210000江蘇省南京市玄武區(qū)鎖金一村5號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供一種pvd鍍膜厚度調(diào)節(jié)控制裝置，涉及一種通過旋轉(zhuǎn)速度變化，控制鍍膜厚度的調(diào)節(jié)控制裝置，屬于材料加工領(lǐng)域。提供的一種通過控制電極輥回轉(zhuǎn)速度，進(jìn)行鍍膜厚度調(diào)節(jié)的鍍膜調(diào)劑控制結(jié)構(gòu)，包括主體固定裝置、鍍膜調(diào)節(jié)裝置，主體固定裝置包括箱體、隔板、放置臺、連通管、保持架、驅(qū)動軸，隔板置于箱體內(nèi)頂面，放置臺置于箱體內(nèi)底面且位于隔板正下方，保持架通過驅(qū)動軸置于箱體內(nèi)，兩個連通管置于箱體上，連通管分別位于隔板兩側(cè)，且對應(yīng)和隔板兩側(cè)的區(qū)域連通，鍍膜調(diào)節(jié)裝置包括金屬墊板、導(dǎo)線、靶材、銅輥、磁鐵、冷卻管、電極輥、端部密封條，能夠連續(xù)滾動鍍膜，通過旋轉(zhuǎn)速度進(jìn)行鍍膜厚度的控制。