一種基片固定夾具

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022003551.7 申請日 -
公開（公告）號 CN213013080U 公開（公告）日 2021-04-20
申請公布號 CN213013080U 申請公布日 2021-04-20
分類號 C23C14/50(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 李濤 申請（專利權）人 浙江美迪凱現(xiàn)代光電有限公司
代理機構 杭州華知專利事務所（普通合伙） 代理人 張德寶
地址 317500浙江省臺州市溫嶺市產學研工業(yè)園科技大道
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及基片加工技術領域，尤其涉及一種基片固定夾具，其特征是，包括兩塊相契合的夾板和用于將兩塊夾板固定的磁鐵，兩塊所述的夾板均呈閉合的邊框狀，且所述夾板的內側向內延伸出用于放置、夾持基片的內沿，所述內沿低于夾板設置；所述夾板上表面開設有與所述內沿連通的排水槽；兩塊所述的夾板均為樹脂材質；其中一塊所述的夾板上設有至少兩個定位柱，另一塊所述的夾板上開設有與定位柱相對應的定位通孔，所述磁鐵通過相互之間的吸引力對兩塊夾板進行夾持、固定。本夾具通過兩塊夾板對基片進行夾持、固定，固定過程簡單；排水槽能夠及時排出夾具中基片上的水漬；借助磁石能夠將固定有基片的夾板吸附固定在鐵質框架上，方便濺射鍍膜。??