超級結結構及其制作方法、超級結器件

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010235845.4 申請日 -
公開（公告）號 CN113471068A 公開（公告）日 2021-10-01
申請公布號 CN113471068A 申請公布日 2021-10-01
分類號 H01L21/225;H01L29/06 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 遲延慶 申請（專利權）人 上海先進半導體制造有限公司
代理機構 上海弼興律師事務所 代理人 薛琦;林嵩
地址 200233 上海市徐匯區(qū)虹漕路385號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種超級結結構及其制作方法、超級結器件，所述制作方法包括：選取與產品片尺寸一致的陪片；采用光刻刻蝕工藝在陪片上刻蝕出用于形成超級結結構的第一通孔；在產品片的表面生長出一層氧化層；在陪片上加電，將陪片和產品片（氧化層面）貼附在一起；通過陪片上的第一通孔向產品片中注入與產品片中摻雜離子類型相反的目標離子，以形成N型和P型相互間隔的超級結結構；其中，相鄰的N型結構的離子濃度與P型結構的離子濃度相平衡。本發(fā)明的制作工藝具有工藝簡單、成本低、工藝穩(wěn)定、能夠保證產品良率以及重復性好等優(yōu)點。