場限環(huán)結(jié)構(gòu)的制備方法及系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111050598.1 申請日 -
公開（公告）號 CN113903667A 公開（公告）日 2022-01-07
申請公布號 CN113903667A 申請公布日 2022-01-07
分類號 H01L21/336（2006.01）I;H01L29/06（2006.01）I;G06F30/20（2020.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 車鑫川;張潔;劉東棟 申請（專利權(quán)）人 上海先進半導(dǎo)體制造有限公司
代理機構(gòu) 上海弼興律師事務(wù)所 代理人 楊東明;羅朗
地址 200233上海市徐匯區(qū)虹漕路385號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種場限環(huán)結(jié)構(gòu)的制備方法及系統(tǒng)，所述制備方法包括：預(yù)設(shè)環(huán)推進信息表，環(huán)推進信息表存儲有制備場限環(huán)結(jié)構(gòu)的高溫爐管的環(huán)推進信息與應(yīng)用場景的映射表，環(huán)推進信息包括環(huán)推進溫度和環(huán)推進時長，應(yīng)用場景包括應(yīng)用設(shè)備和應(yīng)用環(huán)境；獲取當(dāng)前場限環(huán)結(jié)構(gòu)的當(dāng)前應(yīng)用場景；根據(jù)環(huán)推進信息表獲取與當(dāng)前應(yīng)用場景對應(yīng)的當(dāng)前環(huán)推進信息；在當(dāng)前場限環(huán)結(jié)構(gòu)的環(huán)推進階段基于當(dāng)前環(huán)推進信息進行制備。本發(fā)明通過改變場限環(huán)結(jié)構(gòu)的爐管推進的時間及溫度，進一步實現(xiàn)有效增加終端柱狀結(jié)的曲率半徑，減少電場集中，使得原本器件擊穿電壓降低的問題得到解決，最終達到在不增加器件功耗的基礎(chǔ)上提高了器件的擊穿電壓性能。