刻蝕機(jī)防止撞片的檢測(cè)方法及系統(tǒng)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201910638720.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN112242313B | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-11-16 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112242313B | 申請(qǐng)公布日 | 2021-11-16 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L21/67（2006.01）I | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 陳明俊;徐雷;張軍 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 上海先進(jìn)半導(dǎo)體制造有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海光華專(zhuān)利事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 盧炳瓊 |
| 地址 | 200233上海市徐匯區(qū)虹漕路385號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種刻蝕機(jī)防止撞片的檢測(cè)方法及系統(tǒng)，刻蝕機(jī)包括機(jī)臺(tái)、主工藝腔、出口腔、出口腔內(nèi)門(mén)和出口腔傳送手臂，出口腔內(nèi)門(mén)包括一開(kāi)門(mén)電磁閥回路，該回路包括一電壓輸出引腳。該系統(tǒng)包括探測(cè)器、第一輔助繼電器，繼電器的常閉觸點(diǎn)接入開(kāi)門(mén)電磁閥回路。出口腔傳送手臂進(jìn)入主工藝腔前，電壓輸出引腳輸出高電平信號(hào)；探測(cè)器探測(cè)出口腔傳送手臂上是否有圓晶片；若是則輸出控制信號(hào)，接通第一輔助繼電器的線(xiàn)圈；斷開(kāi)第一輔助繼電器的常閉觸點(diǎn)；機(jī)臺(tái)停機(jī)。本發(fā)明通過(guò)探測(cè)器探測(cè)出口腔傳送手臂上是否有圓晶片，為是時(shí)斷開(kāi)第一輔助繼電器的常閉觸點(diǎn)，使內(nèi)門(mén)不能正常打開(kāi)，從而避免圓晶片撞片、疊片而造成的圓晶片報(bào)廢，提高產(chǎn)品的成品率。 |
