晶硅PERC太陽(yáng)電池雙面鈍化方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910154712.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN109888057A 公開(kāi)（公告）日 2019-06-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN109888057A 申請(qǐng)公布日 2019-06-14
分類號(hào) H01L31/18（2006.01）I; B82Y30/00（2011.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉娟 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇潤(rùn)陽(yáng)新能源科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 215300 江蘇省蘇州市昆山開(kāi)發(fā)區(qū)前進(jìn)東路帝寶金融大廈20樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種PERC晶硅太陽(yáng)能電池片雙面鈍化方法，涉及太陽(yáng)能電池制造領(lǐng)域，該晶體硅片經(jīng)過(guò)制絨、擴(kuò)散、刻蝕拋光和氧化工藝，其特征在于，該方法包括：鈍化時(shí)，于該晶體硅片的雙面鍍AlOX薄膜，AlOX薄膜對(duì)該晶體硅片進(jìn)行表面鈍化，再于該AlOX薄膜上鍍SiOX薄膜。其中，該AlOX厚度范圍為2?10nm，SiOX薄膜厚度為2?5nm，本發(fā)明提高了氧化鋁鈍化效果，鈍化效果好、晶體硅太陽(yáng)電池開(kāi)路電壓高，同時(shí)有效提高了太陽(yáng)能光伏電池片的光電轉(zhuǎn)換效率。