一種晶圓清洗設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121869686.X 申請日 -
公開（公告）號 CN216902806U 公開（公告）日 2022-07-05
申請公布號 CN216902806U 申請公布日 2022-07-05
分類號 H01L21/67（2006.01）I;B08B5/02（2006.01）I;B08B11/02（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 黃曉輝;周永昌;董琪琪 申請（專利權(quán)）人 飛锃半導(dǎo)體（上海）有限公司
代理機構(gòu) 上海申新律師事務(wù)所 代理人 -
地址 200120上海市浦東新區(qū)中國（上海）自由貿(mào)易試驗區(qū)臨港新片區(qū)環(huán)湖西二路888號C樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型屬于晶圓領(lǐng)域，具體的說是一種晶圓清洗設(shè)備，包括支撐板，所述支撐板的內(nèi)部固定安裝有驅(qū)動電機，所述驅(qū)動電機的輸出軸通過聯(lián)軸器固定連接有轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸的頂端固定安裝有旋轉(zhuǎn)平臺，所述固定機構(gòu)包括連接板，所述連接板的外壁固定安裝有電動伸縮套桿；通過固定機構(gòu)、連接板、電動伸縮套桿、固定槽、連接塊、支撐塊、伸縮彈簧和防護墊的配合安裝，實現(xiàn)了便于伸縮便于防護晶圓的功能，在使用過程中，該電動伸縮套桿向內(nèi)側(cè)伸縮，達到對晶圓進行夾持固定，而防護墊的設(shè)置，可以對晶圓進行防護，避免該電動伸縮套桿過硬，而容易對晶圓造成損壞，而解決了一般清洗設(shè)備不便于固定夾持的問題，提高了清洗設(shè)備的效率。