一種晶圓測(cè)試探針設(shè)備
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202121867532.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN216900623U | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-07-05 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN216900623U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-07-05 |
| 分類(lèi)號(hào) | G01R1/04（2006.01）I;H01L21/66（2006.01）I | 分類(lèi) | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 黃曉輝;周永昌;董琪琪 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 飛锃半導(dǎo)體（上海）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海申新律師事務(wù)所 | 代理人 | - |
| 地址 | 200120上海市浦東新區(qū)中國(guó)（上海）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)臨港新片區(qū)環(huán)湖西二路888號(hào)C樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型屬于晶圓領(lǐng)域，具體的說(shuō)是一種晶圓測(cè)試探針設(shè)備，包括操作機(jī)構(gòu)，所述操作機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的輸出軸通過(guò)聯(lián)軸器固定連接有轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸的頂端固定安裝有支撐平臺(tái)，所述支撐平臺(tái)的頂部固定安裝有旋轉(zhuǎn)臺(tái)，所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)的頂部開(kāi)設(shè)有限位槽；通過(guò)操作機(jī)構(gòu)、驅(qū)動(dòng)電機(jī)、轉(zhuǎn)軸、支撐平臺(tái)、旋轉(zhuǎn)臺(tái)和限位槽的配合安裝，實(shí)現(xiàn)了便于旋轉(zhuǎn)限位的功能，在使用過(guò)程中，可通過(guò)驅(qū)動(dòng)電機(jī)帶動(dòng)轉(zhuǎn)軸而產(chǎn)生的電流，對(duì)旋轉(zhuǎn)臺(tái)上方的晶圓進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，使得該旋轉(zhuǎn)臺(tái)上的晶圓各個(gè)角落都能夠檢測(cè)到，而限位槽的設(shè)置，可以對(duì)圓晶進(jìn)行限位，使得該圓晶能夠不易移位，解決了一般測(cè)試探針設(shè)備不便于旋轉(zhuǎn)的問(wèn)題，提高了測(cè)試探針設(shè)備的效率。 |
