一種基于光學(xué)成像的缺陷檢測(cè)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120218886.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN214374364U 公開（公告）日 2021-10-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN214374364U 申請(qǐng)公布日 2021-10-08
分類號(hào) G01N21/88（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 劉榮華;曾延安;鄭增強(qiáng);洪志坤;范景洋;王興剛;歐昌東;張勝森;鐘凡;沈亞非;陳凱 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 武漢精測(cè)電子集團(tuán)股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 武漢東喻專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 雷霄
地址 430205湖北省武漢市東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)流芳園南路22號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種基于光學(xué)成像的缺陷檢測(cè)裝置。該裝置包括：多光譜光源、濾光調(diào)節(jié)單元、偏振調(diào)節(jié)單元、入射角調(diào)節(jié)單元、反射角調(diào)節(jié)單元和相機(jī)，所述濾光調(diào)節(jié)單元和所述偏振調(diào)節(jié)單元被設(shè)置在所述多光譜光源的發(fā)射光到達(dá)待檢測(cè)產(chǎn)品的入射光路上，所述相機(jī)被設(shè)置在所述多光譜光源的發(fā)射光到達(dá)所述待檢測(cè)產(chǎn)品后的反射光路上；所述相機(jī)用于分別采集所述濾光調(diào)節(jié)單元、所述偏振調(diào)節(jié)單元、所述入射角調(diào)節(jié)單元和所述反射角調(diào)節(jié)單元處于不同狀態(tài)時(shí)所述待檢測(cè)產(chǎn)品的圖像。本實(shí)用新型的裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低，靈活性好，可以快速分析確定最優(yōu)成像方案，實(shí)現(xiàn)高可靠度的工業(yè)質(zhì)檢場(chǎng)景需要。