一種采用非接觸電極的高穩(wěn)定長(zhǎng)度伸縮模石英溫度傳感器
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201910350879.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN110044511B | 公開(kāi)（公告）日 | 2019-07-23 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN110044511B | 申請(qǐng)公布日 | 2019-07-23 |
| 分類號(hào) | G01K7/32(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 林江;高新明;張濱華 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 哈爾濱華明傳感科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 哈爾濱市偉晨專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 陳潤(rùn)明 |
| 地址 | 150028黑龍江省哈爾濱市松北區(qū)智谷二街3043號(hào)哈爾濱松北（深圳龍崗）科技創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)園10號(hào)樓7層703室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種采用非接觸電極的高穩(wěn)定長(zhǎng)度伸縮模石英溫度傳感器，涉及傳感器領(lǐng)域；該傳感器包括封裝體以及位于封裝體內(nèi)的諧振組件，諧振組件由石英晶體制作而成；所述諧振組件為一體式結(jié)構(gòu)，其包括雙工字梁底座、支撐框體以及位于支撐框體內(nèi)的m個(gè)梳齒片和n個(gè)諧振臂，m和n均為正整數(shù)，m＞n，m個(gè)梳齒片上金屬電極的數(shù)量為2n。本發(fā)明公開(kāi)了一種采用非接觸電極、能夠防止和抑制振臂諧振能量外泄的多振臂長(zhǎng)度伸縮模石英溫度傳感器新結(jié)構(gòu)，摸索一種采用耐高溫、耐老化的四層復(fù)合金屬薄膜的非接觸電極的結(jié)構(gòu)，從而最高工作溫度可達(dá)到300℃以上，并且降低了熱遲滯，提高了其長(zhǎng)期穩(wěn)定性。?? |
