一種CZ直拉單晶法真空泵

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200920172290.2 申請日 -
公開（公告）號 CN201425010Y 公開（公告）日 2010-03-17
申請公布號 CN201425010Y 申請公布日 2010-03-17
分類號 F04B37/14(2006.01)I;F04B39/00(2006.01)I 分類 液體變容式機械；液體泵或彈性流體泵;
發(fā)明人 馬四海;張笑天 申請（專利權）人 蕪湖升陽光電科技有限公司
代理機構 蕪湖安匯知識產權代理有限公司 代理人 蕪湖升陽光電科技有限公司;蕪湖昊陽光能股份有限公司
地址 241100安徽省蕪湖縣蕪湖機械工業(yè)園朝陽路1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種CZ直拉單晶法真空泵，所述的真空泵下部設有避震裝置，所述的避震裝置包括槽鋼底架(1)及避震結構，所述的避震結構為：在所述的槽鋼底架(1)上方，設由柔性材料制成的上避震模塊(2)；在所述的槽鋼底架(1)下方，設由柔性材料制成的下避震模塊(3)。采用上述技術方案，采用兩級避震方式，更大幅度的降低真空泵的震動；采用新型的聚乙烯樹脂棒作為主要避震方式，相對橡膠避震材料效果更佳。