一種MEMS濾波器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110603290.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113321178A 公開（公告）日 2021-08-31
申請(qǐng)公布號(hào) CN113321178A 申請(qǐng)公布日 2021-08-31
分類號(hào) B81B7/02（2006.01）I 分類 微觀結(jié)構(gòu)技術(shù)〔7〕;
發(fā)明人 周華芳 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 成都海威華芯科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 成都華風(fēng)專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 張巨箭
地址 610029四川省成都市雙流區(qū)中國(guó)（四川）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)成都市雙流區(qū)西南航空港經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)物聯(lián)大道88號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種MEMS濾波器，屬于濾波器技術(shù)領(lǐng)域，包括襯底；襯底正背面依次生長(zhǎng)有隔離層、第一DBR介質(zhì)膜、犧牲層、第二DBR介質(zhì)膜；襯底正面設(shè)有上電極、下電極，上電極底部與襯底正面的第二DBR介質(zhì)膜的底層膜接觸，下電極底部與襯底背面的第一DBR介質(zhì)膜的頂層膜接觸；襯底正面的犧牲層具有空腔，襯底正面的第二DBR介質(zhì)膜對(duì)應(yīng)所述空腔位置為浮橋區(qū)域。本發(fā)明濾波器為雙面結(jié)構(gòu)能夠保證器件的平整度，解決現(xiàn)有技術(shù)單面長(zhǎng)膜引起的器件翹曲，同時(shí)，本申請(qǐng)浮橋區(qū)域?yàn)槊芊忾]環(huán)浮橋，相較于現(xiàn)有鏤空浮橋，提升了結(jié)構(gòu)強(qiáng)度，降低了襯底正面的第二DBR介質(zhì)膜的破裂風(fēng)險(xiǎn)。