一種MEMS濾波器和制備方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110600933.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN113292040A | 公開（公告）日 | 2021-08-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113292040A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-08-24 |
| 分類號(hào) | B81B7/02（2006.01）I;B81C1/00（2006.01）I | 分類 | 微觀結(jié)構(gòu)技術(shù)〔7〕; |
| 發(fā)明人 | 周華芳 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 成都海威華芯科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 成都華風(fēng)專利事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 張巨箭 |
| 地址 | 610029四川省成都市雙流區(qū)中國（四川）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)成都市雙流區(qū)西南航空港經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)物聯(lián)大道88號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種MEMS濾波器和制備方法，濾波器包括：襯底；第一反射層，位于所述襯底上方；犧牲層，位于所述第一反射層上，所述犧牲層具有空腔；第二反射層，位于所述犧牲層上，所述第二反射層對(duì)應(yīng)所述空腔位置為具有釋放孔的浮橋區(qū)域，所述浮橋區(qū)域內(nèi)還具有貫穿第二反射層的環(huán)形防破裂梁；所述防破裂梁的上下兩面中的其中一面為凹面，另外一面為凸面。本發(fā)明的防破裂梁內(nèi)部是一個(gè)工作平面，平行度很好，防破裂梁區(qū)域類似一系列微型彈簧，可增強(qiáng)整個(gè)浮橋區(qū)域的韌性，連接了防破裂梁的兩側(cè)浮橋，使得連接上更為牢固，浮橋區(qū)域不容易破裂，即不會(huì)因?yàn)殪o電力的驅(qū)動(dòng)使得浮橋區(qū)域上下浮動(dòng)造成浮橋區(qū)域的破裂。 |
