物理冶金多晶硅太陽能電池的磷擴散方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410708186.6 申請日 -
公開（公告）號 CN104404626B 公開（公告）日 2017-06-16
申請公布號 CN104404626B 申請公布日 2017-06-16
分類號 C30B31/18(2006.01)I;C30B31/08(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 鄒凱;和江變;郭凱華;郭永強;孟德龍;宗靈侖;李健 申請（專利權(quán)）人 內(nèi)蒙古日月太陽能科技有限責任公司
代理機構(gòu) 北京律智知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 于寶慶;吳婭妮
地址 010111 內(nèi)蒙古自治區(qū)呼和浩特市如意開發(fā)工業(yè)新區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種物理冶金多晶硅太陽能電池的磷擴散方法，包括，1)將清洗制絨后的硅片進行第一恒溫熱處理；2)將經(jīng)步驟1)處理后的硅片進行第二恒溫熱處理；3)將經(jīng)步驟2)處理后的硅片進行氧化處理；4)向步驟3)處理后的硅片通磷源進行磷擴散處理；5)將經(jīng)步驟4)處理后的硅片進行退火處理。本發(fā)明的擴散方法應(yīng)用于物理冶金硅太陽電池制備中，可節(jié)約成本，提高產(chǎn)能，所形成的PN結(jié)，表面雜質(zhì)濃度低，雜質(zhì)分布均勻，擴散均勻性好，減小了死層效應(yīng)，有利于電子的收集，降低了太陽能電池因復(fù)合造成的效率損失，從而提高了電池片的最終光電轉(zhuǎn)換效率。