修補(bǔ)破損的石墨舟葉片的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201810065672.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN108257898A 公開(kāi)（公告）日 2018-07-06
申請(qǐng)公布號(hào) CN108257898A 申請(qǐng)公布日 2018-07-06
分類號(hào) H01L21/673;H01L31/18 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 于洋;胡榮亮;和江變 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 內(nèi)蒙古日月太陽(yáng)能科技有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 北京律智知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 闞梓瑄;郜文剛
地址 010111 內(nèi)蒙古自治區(qū)呼和浩特市如意開(kāi)發(fā)工業(yè)新區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提出一種修補(bǔ)破損的石墨舟葉片的方法，包括：將發(fā)生破損的石墨舟的葉片卸下；在破損的葉片上設(shè)定一修補(bǔ)區(qū)域；沿著修補(bǔ)區(qū)域切割掉破損部位，利用修補(bǔ)工具在報(bào)廢石墨舟的葉片上截取待用部分，該待用部分與切割后的待修補(bǔ)的部位能夠拼合為一個(gè)完整葉片并裝配在石墨舟，然后在夾舟裝具上進(jìn)行校準(zhǔn)修復(fù)；或者，在報(bào)廢石墨舟葉片上裁切補(bǔ)丁件，將補(bǔ)丁部件壓蓋固定在修補(bǔ)區(qū)域內(nèi)的破損部位的裂紋的兩側(cè)，裝配石墨舟，然后在夾舟裝具上進(jìn)行校準(zhǔn)修改；清洗修補(bǔ)后的石墨舟并烘干；在修復(fù)后的石墨舟內(nèi)插入假硅片，放入管式減反射薄膜沉積儀內(nèi)，并運(yùn)行鍍膜工藝；按順序取出假硅片，根據(jù)各位置處假硅片的減反膜情況，微調(diào)整修補(bǔ)部位位置。